Cảm biến áp suất WIKA WUC-10

Giới thiệu cảm biến áp suất WIKA WUC-10

Cảm biến áp suất WIKA WUC-10, WUC-15, WUC-16 được thiết kế chuyên dụng cho các hệ thống khí siêu tinh khiết trong ngành bán dẫn, sản xuất màn hình hiển thị và năng lượng mặt trời. Đây là dòng cảm biến tối ưu cho các khu vực nguy hiểm (Ex ec, Ex ic), cung cấp độ chính xác cao và ổn định lâu dài, ngay cả khi nhiệt độ dao động mạnh.

Thông số kỹ thuật cảm biến áp suất WIKA WUC-10

• • Hãng sản xuất: WIKA – Đức
  • Model: WUC-10, WUC-15, WUC-16
  • Dải đo áp suất:
    • Áp suất tuyệt đối: 0 … 2 bar đến 0 … 60 bar
    • Áp suất dương: 30 psi – 5000 psi (2 bar – 360 bar)
  • Sai số đo lường:
    • Sai số RSS (Root Sum Squares): ≤ 0.2% FS (với dải đo > 2 bar), ≤ 0.4% FS (với dải đo ≤ 2 bar)
    • Sai số tối đa theo IEC 61298-2: ≤ 0.5% FS (với dải đo > 2 bar), ≤ 1% FS (với dải đo ≤ 2 bar)
  • Bù nhiệt độ chủ động: Từ -20 … +80 °C [-4 … +176 °F]
  • Chống nhiễu điện từ (EMC Stability): Ổn định ngay cả trong môi trường có trường điện từ mạnh
  • Tín hiệu đầu ra:
    • 4 … 20 mA (2 dây)
    • 0 … 5 V, 0 … 10 V (3 dây)
  • Nguồn cấp: DC 15 … 30V
  • Chống rò rỉ khí Helium: < 1 x 10⁻⁹ mbar l/sec theo SEMI F1
  • Cấu trúc vật liệu:
    • Phần tiếp xúc môi chất: Thép không gỉ 316L theo SEMI F20, màng mỏng 2.4711/UNS R30003
    • Vỏ ngoài: Thép không gỉ 304, được đánh bóng điện hóa (Ra ≤ 0.13 µm)

Ứng dụng của cảm biến áp suất WIKA WUC-10, WUC-15, WUC-16

• Ngành bán dẫn (Semiconductor Industry) – Đo lường áp suất khí siêu tinh khiết trong hệ thống sản xuất vi mạch.
• Ngành màn hình hiển thị và năng lượng mặt trời (Display & Photovoltaic Industry) – Kiểm soát áp suất trong quy trình sản xuất màn hình LCD, OLED, tấm pin mặt trời.
• Hệ thống cung cấp khí siêu tinh khiết (Ultra High Purity Gas Supply) – Kiểm soát áp suất khí trong hệ thống phân phối UHP.
• Ứng dụng trong khu vực nguy hiểm (Ex ec, Ex ic) – Đạt tiêu chuẩn chống cháy nổ, đảm bảo an toàn trong môi trường dễ cháy.

Xem catalogue tại đây: